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坩堝上升法藍寶石晶體生長理論

文字:[大][中][小] 2020-07-02    瀏覽次數(shù):    

現(xiàn)有技術(shù)中藍寶石生產(chǎn)工藝存在的能耗高、晶體生長溫度無法精確調(diào)控導(dǎo)致的晶體生長緩慢、質(zhì)量差等問題,我們公司提供了一種坩堝上升法制備高品質(zhì)藍寶石晶體 的方法,本方法是結(jié)合現(xiàn)有藍寶石晶體生長方法之提拉法、泡生法及坩堝下降法等的優(yōu)缺點進行改進得到的,依據(jù)在晶體生長體系中起著支配作用的溫場分布與熱量 輸送原理,通過準(zhǔn)確地實時監(jiān)控不同溫區(qū)溫度變化、精確控制坩堝上升速度、籽晶棒上升與旋轉(zhuǎn)速度及晶體生長過程的監(jiān)測,從而實現(xiàn)高速高成品率獲取晶體之目 的。

技術(shù)方案為:一種坩堝上升法制備高品質(zhì)藍寶石晶體的方法,根據(jù)溫度由高到低的梯次變化將晶體生長爐內(nèi)部分為四個溫度區(qū),分別為由加熱體加熱的高溫區(qū)、坩堝 內(nèi)氧化鋁熔體的熔體溫區(qū)、籽晶棒上所生長晶體與熔體接觸的界面溫區(qū)和用冷氣降溫的低溫區(qū),所述高溫區(qū)和低溫區(qū)之間通過鉬制或鎢制分隔板隔開,可提升的坩堝 穿過分隔板并介于高溫區(qū)和低溫區(qū)之間,以使籽晶棒和氧化鋁熔體分別處于分隔板的上部和下部;晶體生長過程中,通過控制坩堝的上升速度以及籽晶棒的上升速度 以使坩堝中氧化鋁熔體的液面與高溫區(qū)和低溫區(qū)的分隔板高度始終保持一致。

技術(shù)特點:本技術(shù)將爐體內(nèi)分隔成四個溫度區(qū),通過對四個溫度區(qū)的溫度監(jiān)控并進行調(diào)節(jié),以使其具有較佳的溫度梯度,從而準(zhǔn)確控制固液界面溫度,提高晶體生長 的較佳熱場方式,進而找到晶體生長較佳途徑,以利于提高晶體生長速度和晶體生長質(zhì)量;同時,由于通過坩堝升降裝置和籽晶棒升降裝置配合,使得坩堝內(nèi)氧化鋁 熔體的液面(即晶體生長部位)始終保持在一個位置,可以精確控制其溫度,從而利于晶體的生長。

本技術(shù)所涉及不同因素之間關(guān)系:

1)坩堝高度隨著晶體生長的變化;

2)液態(tài)界面高度隨著晶體生長的變化;

3)籽晶棒的高度隨著晶體生長的變化;

4)四個子熱場之間的溫度關(guān)系。

5)晶體生長時間與晶體重量之關(guān)系:

6)溫度梯度與晶體重量之關(guān)系

7)成品率關(guān)系式

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